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光刻机未来的技术路线有非常多条，目前没有谁敢判断哪条技术路线一定可行。
霓虹和阿美利肯因为有钱，可以同时推进多条技术路线的研发，阿美利肯能源部主导的EUV光刻机路线，IBM主导的X光光刻机路线，霓虹同样也在推进多条技术路线
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